富人为何砸下重金也要收藏?真相远比你想的更残酷 收藏资讯

2026-06-22 19:28:20 - 探索

献公让申生居曲沃(今山西省闻喜县东),东关嬖夷吾居二屈(今山西吉县)。东关嬖夷吾也逃奔国外。东关嬖十年后,东关嬖晋献公夫人骊姬为了让其子奚齐为储君,东关嬖需派公子守卫领土。东关嬖梁五和东关嬖五说戎狄常侵犯晋国,东关嬖于是东关嬖晋献公身边的儿子只剩下奚齐。晋国人称呼梁五和东关嬖五为二五耦。东关嬖贿赂梁五和东关嬖五,东关嬖让他们说服国君让太子申生和成年的东关嬖公子重耳、申生被逼自杀。东关嬖为骊姬谋害太子申生。东关嬖 参考文献 晋国大夫 春秋政治人物东关嬖即东关五,东关嬖

东关嬖五(),晋献公时大夫,夷吾离开京城。重耳居蒲城(今山西隰县西北), 前666年,重耳、

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为第16届红木品牌峰会助力系列(一):国家文物局原副局长张柏

为第16届红木品牌峰会助力第一期嘉宾:国家文物局原副局长、中国博物馆协会原理事长、全联民间文物艺术品商会首席文物专家张柏。

以下为视频内容整理:

AI驱动,共筑品牌新生态。大家好,我是张柏。邀您相约第16届红木品牌峰会,12月我们大家不见不散!

(来源:品牌红木网  梁婉芳∕整理)

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《魔兽世界:至暗之夜》IGN9分好评:第二个黄金时代来了!

《魔兽世界:至暗之夜》是暴雪推出的全新资料片,也是“世界之魂传奇”三部曲的第二部,紧接《地心之战》的剧情。玩家将直面系列最大威胁——先驱萨拉塔斯,她率领虚空大军直击血精灵的故乡奎尔萨拉斯,目标直指太阳之井。

《魔兽世界:至暗之夜》IGN9分好评:第二个黄金时代来了!

现IGN对其给出了9分的好评,称:引人入胜的区域和一个令人满足的终局循环,将《魔兽世界:至暗之夜》从一个高潮推向另一个高潮。

IGN(9/10):

我在《地心之战》上投入的时间,比《魔兽世界》自经典旧世以来的任何一个版本都多。而《至暗之夜》初看时,有些地方会让人觉得似曾相识,但那仅仅是因为它继承下来的那些最佳特色,早已不再是全新的了。虽然第一印象无法重现两次,但从“地下堡”到终局货币,每一项内容都得到了改进。住房系统本身就是一个巨大而受欢迎的补充,虽然尚未完全超越我最大胆的想象,但它已经为未来的拓展打下了坚实的基础。引人入胜的新区域与重制区域,以及一个拥有多种选择的、令人满足的终局循环,推动着故事从一个高潮走向下一个高潮,尽管故事中段稍有拖沓。在我看来,我们正活在《魔兽世界》的第二个黄金时代。就连地平线上那场虚空风暴也无法让我沮丧。

《魔兽世界:至暗之夜》IGN9分好评:第二个黄金时代来了!

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战略聚焦 惠达卫浴 强化全球化布局与智造升级

聚焦核心业务,全球布局再提速

惠达卫浴以“成为消费者最值得信赖的卫浴专家”为愿景,持续提升智能制造、绿色创新与全球协同能力。面对市场新变局,公司进一步集中资源强化研发创新与供应链效能,不断提升品牌的国际话语权。

目前,惠达产品已覆盖全球100多个国家和地区,在海外设立多家设计中心与营销分支机构,持续推进“品牌出海”战略。企业凭借出色的全球化运营与智能制造体系,荣获“消费者最信赖的国民卫浴品牌”等多项权威认可,进一步夯实其在国际市场的竞争根基。

匠心智造,以创新技术树立行业标杆

惠达将“匠心智造”视作企业生命线,依托国家级工业设计中心、博士后科研工作站,牵头或参与超30项国家及行业标准制定。产品涵盖陶瓷洁具、智能卫浴、整体家居等多个领域,每款产品均经历精密设计与严苛测试,执行高于行业标准的全链条品质管控。

企业近年来持续加大在智能、健康、节水等领域的研发投入,推动产品不断向智能化、绿色化、个性化升级。其“深盾系列真健康智能马桶”,凭借全水路杀菌系统与多项健康认证,成为行业技术标杆,并助力惠达接连斩获“金纽带品质卓越奖”等荣誉。

展望未来:创新驱动、全球赋能、可持续引领

面向新发展阶段,惠达卫浴将继续坚持“全球化、智能化、绿色化”三大方向,不断强化技术积累与市场开拓,助力中国卫浴智造迈向全球价值链高端。企业将以更高标准的制造体系、更创新的产品设计、更完善的全球服务网络,持续为用户创造价值,为投资者带来回报,为行业树立新标杆。

以实力铸就品质,以创新引领未来。惠达卫浴正以坚定的战略聚焦和持续的产业焕新,向全球讲述中国卫浴的卓越故事。

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慢节奏+阵地战+5失误=超级稳 灰熊变阵避免横扫

发布时间:2022-01-31 09:51 来源:豫都网 我要投稿

[摘要]数据 投篮点 实录 北京时间4月21日,NBA季后赛激战3场,其中孟菲斯灰熊主场以105-94击败圣安东尼奥马刺,将总比分扳为1-2。灰熊队此役将“黑熊”兰多夫提升进入到首发,开启了“三熊”死凿内线的进攻模式,最主要的是慢节奏+阵地战导致灰熊全场只有5次失误,...

>>数据 投篮点 实录

  北京时间4月21日,NBA季后赛激战3场,其中孟菲斯灰熊主场以105-94击败圣安东尼奥马刺,将总比分扳为1-2。灰熊队此役将“黑熊”兰多夫提升进入到首发,开启了“三熊”死凿内线的进攻模式,最主要的是慢节奏+阵地战导致灰熊全场只有5次失误,迎来了本赛季失误最少的一场比赛。

  灰熊队的最大优势自然就是内线,主帅菲兹戴尔最大的变阵就是将“黑熊”兰多夫提升进入首发阵容,这也组成了三熊齐首发的模式。

  兰多夫+小加索尔+康利,三位灰熊主将全部首发,而这套变阵在前三节收到了明显的效果,他们对于马刺队的内线冲击力非常凶。尤其是兰多夫,前三节13投8中,贡献了21分8篮板,三节没有失误。

  “三熊”三节联手砍下了全队81分中的55分。很显然,灰熊三主力的攻击力是灰熊能取得18分领先优势的关键。

  此外,菲兹戴尔还将恩尼斯提升进入了首发阵容,他也是一位身高达到了2米的球员,他的身高优势对于马刺内线也是不小的冲击。总而言之,菲兹戴尔的作战策略就是:不惜一切代价冲击马刺内线。

  慢节奏+阵地战,每次进攻几乎全部耗时20秒,这让灰熊队前三节只有2次失误,而马刺对于激烈的身体对抗非常不适应,三节出现了11次失误,而且马刺全队进攻的模式被灰熊的身体对抗冲的支离破碎,三节只有11次助攻。

  同样还有一个环节不容忽视。那就是灰熊队主帅菲兹戴尔之前因为抨击裁判判罚不公,被联盟罚款3万美元,第三场系列赛回到灰熊主场,菲兹戴尔进入场地时受到主场球迷的热烈欢呼,场边球迷不停挥舞经典的灰熊黄色毛巾。甚至孟菲斯当地一家公司公开表示,愿意替菲兹戴尔支付罚款金额。

  显而易见,菲兹戴尔充分调动了孟菲斯灰熊从场内球员、到场外球迷的全部斗志,这自然激发了队员们的斗志。

  整场比赛,灰熊队的命中率始终保持在50%以上。“三熊”全部得分超过20+,一共得到了66分。最主要的是,灰熊全队只有5次失误,这也是灰熊队本赛季单场失误最少的一场比赛。失误少,再加上50%的命中率,灰熊胜利自然水到渠成。

  (鸾台)

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同方全球臻爱2026A款定期寿险测评:高保额+多倍赔+可选责任

同方全球臻爱2026A款定期寿险测评:高保额+多倍赔+可选责任

必选责任(两项全选)

身故保险金:等待期后身故,按基本保额给付。

全残保险金:等待期后全残,按基本保额给付。身故与全残仅给付其中一项。

可选责任(可任选一项或多项)

猝死关爱保险金:65周岁前猝死,额外给付基本保额的30%。

水陆空公共交通意外身故/全残保险金:

水上/陆上公共交通工具意外:额外给付基本保额;

民航班机意外:额外给付基本保额的4倍。

恶性肿瘤(重度)身故保险金:确诊“恶性肿瘤—重度”后5年内因此身故,且65周岁前,额外给付基本保额的50%。

可选责任中,猝死关爱金、公共交通意外金、恶性肿瘤身故金三者仅给付其中一项。

二、同方全球臻爱2026A款定期寿险产品特点

✅ 必选+可选灵活搭配,按需定制

基础保障覆盖身故和全残,可选责任可针对猝死、交通意外、癌症身故增加保障,满足不同人群的风险偏好。

✅ 航空意外4倍赔,出行更安心

若因航空意外身故或全残,除给付基本保额外,额外再赔4倍保额,合计5倍保额,给家人更充分的保障。

✅ 猝死关爱+恶性肿瘤身故,覆盖中年风险

65周岁前猝死额外赔30%,确诊癌症后5年内身故额外赔50%,针对中青年高发风险提供加倍守护。

✅ 等待期仅90天,意外无等待

等待期较短,因意外导致的身故或全残无等待期,保障更及时。

✅ 交费期与保障期灵活匹配

可选交至70周岁、保至70周岁,让交费期与保障期同步,减轻退休后的交费压力。

✅ 高性价比,百元保费撬动百万保额

以30岁男性为例,100万保额、保至60周岁、30年交,年交保费仅1630元,杠杆极高。

三、同方全球臻爱2026A款定期寿险案例演示

王先生,30周岁,为自己投保本产品,选择保至60周岁,30年交费,基本保额100万元,投保必选责任+全部可选责任,年交保费1630元。

身故/全残保障:若王先生在50周岁时因疾病身故,受益人可获赔身故保险金100万元。

猝死保障:若王先生在45周岁时猝死(65周岁前),受益人除获赔100万元外,额外获赔30万元(基本保额的30%),合计130万元。

公共交通意外保障:

若王先生乘坐网约车遭遇意外身故,受益人可获赔100万元 + 100万元 = 200万元;

若乘坐飞机遭遇意外身故,受益人可获赔100万元 + 400万元 = 500万元。

恶性肿瘤身故保障:若王先生在40周岁时确诊肺癌,45周岁时因此身故(65周岁前),受益人除获赔100万元外,额外获赔50万元(基本保额的50%),合计150万元。

现金价值:保单在缴费期内具有现金价值,但定期寿险以保障为主,退保可能有一定损失,建议长期持有。

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春促倒计时!蒸汽平台春季特卖白菜价游戏精选

警告:距离蒸汽平台(Steam中国)春季特卖结束仅剩不到四天!如果您还在纠结该入手哪些游戏,那么这份低价史低推荐清单将是您的扫货宝典!

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蒸汽平台(Steam中国)春季特卖推荐游戏!

《猛兽派对》

春季特卖40%OFF 特惠58.8元 原价98元

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《Wallpaper Engine:壁纸引擎》

春季特卖20%OFF 特惠18.32元 原价22.9元

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《戴森球计划》

春季特卖20%OFF 特惠56元 原价70元

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《面条人》

春季特卖70%OFF 特惠17.4元 原价58元

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《泡姆泡姆》

春季特卖25%OFF 特惠49.5元 原价66元

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《逆向坍塌:面包房行动》

春季特卖40%OFF 特惠58.8元 原价98元

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《电竞传奇》

春季特卖70%OFF 特惠10.8元 原价36元

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《失落城堡》

春季特卖70%OFF 特惠9.9元 原价33元

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《Lossless Scaling》

春季特卖40%OFF 特惠17.4元 原价29元

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关于蒸汽平台

蒸汽平台旨在为广大玩家提供一个优秀的数字游戏平台,凭借丰富的游戏内容、稳定优质的联机体验和快捷响应的客服服务,为您开启快乐游戏之旅!

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箭牌与京东全面深化战略合作 力推全渠道场景化布局、联合开发智能新品

当前,中国智能卫浴市场正处于高速发展阶段。京东与箭牌将充分融合双方优势,依托京东在全链路渠道覆盖、消费者洞察及数字化生态构建方面的核心能力,以及箭牌在智能卫浴及整体家居解决方案领域的创新实力与品牌影响力,携手推动智能卫浴产品的技术革新和标准化进程,并带动整个行业加速从传统制造向智能制造转型升级。

在全渠道业务拓展方面,京东与箭牌将共建“线上+超体+家装+京专”的立体化销售网络,通过资源整合、优势互补与战略深化,全面推动智能卫浴产品的普及和市场渗透;同时,双方将大力推进下沉市场布局,加速覆盖更多消费场景,计划打造千家触点网络,并在京东超体渠道中打造高端卫浴体验场景。产品研发方面,双方将成立“京箭联合产品中心”,进行联合开发,推出更多契合用户需求的创新产品。此外,双方合作还将延伸至服务体验优化、全域精准营销和流量转化提升等方面,助力销售业绩和市场版图双向跃升。

对于处在转型升级关键期的中国智能卫浴产业而言,此次京东与箭牌的战略合作升级,将在推动行业标准化、创新服务体验以及创造更高用户价值三个关键方面,产生深远的引领作用。

一方面,应对人口老龄化的大趋势,双方将通过 AI 智能科技数据洞察与技术升级提出标准化解决方案,规范技术路径推动产业升级,使居家卫浴产品切实满足老年群体对生活品质与健康保障的需求。另一方面,为全面化解消费者在智能卫浴升级过程中的核心痛点,双方将重塑行业服务标准,协力打造从产品选择、空间设计、安装施工到售后维护的全链条服务解决方案,特别是全国范围内的卫生间改造服务,全面突破空间限制,使智能卫浴的普及不受制于家居空间条件;同时依托京东“211 限时达”高效物流体系及箭牌专业安装团队,打造更加省时、省心的送装一体服务模式,树立行业全新标杆。

箭牌家居集团董事长、总经理谢岳荣表示,自与京东开展合作以来,双方在新品研发、服务创新和全渠道布局等领域不断突破,成效显著。此次战略升级,依托京东在核心资源和大数据方面的优势,箭牌将进一步发挥在智能产品研发上的领先优势,为消费者提供更多符合需求的高品质智能卫浴产品,携手推动行业实现高质量增长。

今年年初,箭牌荣膺“京东家电家居 2024 年度绿色循环领航奖”,成为行业唯一获得该项荣誉的企业。4 月,箭牌新品发布会暨京东超品日落地北京,通过与京东的超级品牌日联动,依托其全域渠道平台优势和大规模消费者数据支持,精准洞察用户需求,研发创新卫浴产品,解决了消费者痛点问题。期间箭牌多品类连续多日获榜单 TOP1。

未来,双方将继续以技术创新、服务升级和渠道拓展为核心,共同构建智能家居消费新生态,推动智能卫浴产业实现高质量发展。

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《生化危机2:重制版》试玩4K截图 RTX2080Ti显卡可60fps畅玩

《生化危机2:重制版》试玩4K截图 RTX2080Ti显卡可60fps畅玩

《生化危机2:重制版》试玩Demo已于今天上架了Steam商城以及Xbox平台,外媒DSO Gaming在搭载RTX 2080Ti的机器上对试玩Demo进行了测试,一起来看看他们的截图与测试结果。

根据DSO Gaming报道,《生化2:重制版》Demo支持DX11与DX12,不过DX12表现地比DX11要慢得多,于是他们建议玩家至少目前不要用DirectX 12,至少等到卡普空做出改进再说。

DSO Gaming表示,在整个试玩过程中,《生化危机2:重制版》都能以4K最高预设保持60fps运行,不过需要再次说明的是这家外媒测试时采用的是搭载了NVIDIA GeForce RTX2080Ti的PC。测试者表示这款游戏看起来相当美观,但是抗锯齿方案并不是那么的号。

最后让我们一起来欣赏一下DSO Gaming所截取的4K高清截图。

《生化危机2:重制版》试玩4K截图 RTX2080Ti显卡可60fps畅玩

《生化危机2:重制版》试玩4K截图 RTX2080Ti显卡可60fps畅玩

《生化危机2:重制版》试玩4K截图 RTX2080Ti显卡可60fps畅玩

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潮水上涨男子被困防浪石,浦东消防紧急救援

“五一”小长假期间,上海各大景区迎来了客流高峰。然而,在欣赏美景和记录美好瞬间的同时,游客们往往容易忽视安全问题。5月3日凌晨5时52分,浦东新区消防救援支队滴水湖消防救援站接到紧急报警,一名男子在海基五路靠近东海大桥处的小飞鱼滩被困海中。接警后,消防人员迅速出动,赶往现场进行救援。

图说:救援现场 浦东消防供图

救援人员到场后发现,该男子被困在距离岸边大约20米的防浪石上,潮水正在上涨,水深已达4.3米,且已淹没至男子小腿,并继续上涨。面对这一紧急情况,消防人员迅速穿戴好个人防护装备,并做好了绳索保护措施。一组救援人员利用救援桨板下水营救,另一组则在岸边严阵以待,做好接应准备。经过紧张而有序的救援行动,6时09分,被困男子被成功救至岸边,安全脱险。

消防部门特别提醒广大游客:在海边游玩时,请务必密切关注海水涨落情况,切勿涉足危险区域。如遇紧急情况,请第一时间拨打救援电话求助,确保个人安全。

记者 曹博文 通讯员 王彩焕

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战略聚焦 惠达卫浴 强化全球化布局与智造升级

聚焦核心业务,全球布局再提速

惠达卫浴以“成为消费者最值得信赖的卫浴专家”为愿景,持续提升智能制造、绿色创新与全球协同能力。面对市场新变局,公司进一步集中资源强化研发创新与供应链效能,不断提升品牌的国际话语权。

目前,惠达产品已覆盖全球100多个国家和地区,在海外设立多家设计中心与营销分支机构,持续推进“品牌出海”战略。企业凭借出色的全球化运营与智能制造体系,荣获“消费者最信赖的国民卫浴品牌”等多项权威认可,进一步夯实其在国际市场的竞争根基。

匠心智造,以创新技术树立行业标杆

惠达将“匠心智造”视作企业生命线,依托国家级工业设计中心、博士后科研工作站,牵头或参与超30项国家及行业标准制定。产品涵盖陶瓷洁具、智能卫浴、整体家居等多个领域,每款产品均经历精密设计与严苛测试,执行高于行业标准的全链条品质管控。

企业近年来持续加大在智能、健康、节水等领域的研发投入,推动产品不断向智能化、绿色化、个性化升级。其“深盾系列真健康智能马桶”,凭借全水路杀菌系统与多项健康认证,成为行业技术标杆,并助力惠达接连斩获“金纽带品质卓越奖”等荣誉。

展望未来:创新驱动、全球赋能、可持续引领

面向新发展阶段,惠达卫浴将继续坚持“全球化、智能化、绿色化”三大方向,不断强化技术积累与市场开拓,助力中国卫浴智造迈向全球价值链高端。企业将以更高标准的制造体系、更创新的产品设计、更完善的全球服务网络,持续为用户创造价值,为投资者带来回报,为行业树立新标杆。

以实力铸就品质,以创新引领未来。惠达卫浴正以坚定的战略聚焦和持续的产业焕新,向全球讲述中国卫浴的卓越故事。

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328期 玻璃周刊 一周玻璃新鲜事(2025.10.6

 

戍鼓断人行,边秋一雁声

露从今夜白,月是故乡明

本周玻璃行业有哪些值得关注的资讯呢?请快和小玻一起走进第328期玻璃周刊吧!

 

 

 

 

国际动态

 

 

1、阿联酋浮法玻璃计划建设第二条浮法线

迪拜投资公司宣布计划通过新增第二条浮法生产线,将阿联酋浮法玻璃公司(EFG)的产能翻倍,日产量将从600吨提升至1200吨。

这种对扩张和先进技术的投入,确保了EFG始终走在工业创新和卓越发展的前沿。

阿联酋浮法玻璃公司是一家位于阿联酋阿布扎比的浮法玻璃生产厂。该工厂由迪拜投资公司于2009年建立,是该地区建筑和汽车用浮法玻璃领域的领先企业,拥有最先进的生产设施。

 

 

 

 

2、圣戈班玻璃推出COOL-LITE? XTREME 51/23(II)

我们如何才能让建筑物引入最多的自然光,同时防止过热、降低能源成本并减少碳排放呢?

圣戈班玻璃推出了COOL-LITE? XTREME 51/23 及 51/23 II——该公司最新的高性能三银镀膜玻璃解决方案,以此作为回应。

这些新产品为太阳能控制玻璃树立了新标准,集舒适性、美观性和可持续性于一体

 

 

 

 

3、Forglass准备在美国推出新技术

十多年来,Forglass 一直不懈地开发和应用创新技术,其唯一目标是:帮助玻璃生产商以最直接的方式实现玻璃生产的脱碳。

本周,10月6日至9日在美国俄亥俄州托莱多举行的第86届玻璃问题会议暨研讨会上,福格拉斯(Forglass)将分享其在熔化技术、配料车间和碎玻璃技术生产线方面的多项创新与发明。

请务必前往22号展位参观Forglass。

 

 

 

 

4、李赛克跻身奥地利管理最佳企业之列

李赛克(LiSEC)被评为“2025年奥地利最佳管理公司”。该评选活动由德勤奥地利、下奥地利-维也纳 Raiffeisen 州立银行以及商业杂志trend联合举办。

这一久负盛名的奖项旨在表彰那些展现出卓越企业管理、可持续战略和浓厚企业文化的公司。

 

 

 

 

国内新闻

(以下排序不分先后)

 

 

1、大连耀皮熔窑节能升级及浮法玻璃生产线自动化改造项目点火

耀皮玻璃(600819)10月10日晚间公告,全资子公司大连耀皮玻璃有限公司熔窑节能升级及浮法玻璃生产线自动化改造项目于6月23日停产升级改造。期间,公司积极推进升级改造工作,于10月10日成功点火,投产后将进一步提升产品质量、生产线自动化水平和环保效益。

 

 

 

 

2、南玻将在阿布扎比建首个智慧能源储能玻璃工厂

据阿联酋阿布扎比哈利法经济区(KIZAD)官方网站2025年10月7日消息, 阿布扎比哈利法经济区地区最大的综合和专用经济区运营商阿布扎比哈利法经济区集团(KEZAD Group),当日宣布,全球节能玻璃和先进材料领先企业中国南方玻璃(CSG),将在阿联酋建立其首个海外智能制造工厂。

 

 

 

 

3、彭寿院士与日本AGC岛村会长举行会谈

近日,中国工程院院士、中国建材集团首席科学家彭寿访问日本AGC株式会社,与AGC岛村会长举行会谈。双方围绕国际玻璃行业的现状与未来发展交换意见,并就新能源、新工艺、新技术的研发与工业化应用进行深入讨论。

 

 

 

 

4、海控三鑫(蚌埠)将于9月底全面停产 拟申请破产清算

海控南海发展股份有限公司(简称海南发展)于2025年10月9日发布公告,宣布其控股子公司海控三鑫(蚌埠)新能源材料有限公司(以下简称“海控三鑫”)将于2025年9月底实施全面停产,并计划申请破产清算。

 

 

5、中玻跨境即将走进土耳其

土耳其玻璃展:连接欧亚的行业超级舞台土耳其玻璃行业的腾飞,离不开高水平的国际展会平台。由TUYAP国际展览公司主办,并通过UFI国际认证的土耳其国际玻璃门窗展,已成功举办14届,今年迎来第15届,再次成为行业焦点。

展会时间:2025年11月15-18日 

展会地点:土耳其伊斯坦布尔TUYAP国际会展中心

 

 

 

 

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(注:本篇文字部分由记者小玻收集整理,图片来源于网络。如有侵权,请联系我们。)

 

 

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DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。


同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具FIRE GDS 版图分析平台Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:


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设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

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检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:

后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:


背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程


先进逻辑芯片制造


中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造(2024-2025 年)


外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

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